미국 반도체 칩 제조업체인 인텔이 일본 국립연구소와 일본에 첨단 반도체 제조 기술을 위한 연구개발 센터를 건설한다.
일본 정부는 일본이 강점을 갖고 있는 반도체 칩 제조 장비 및 소재 산업 육성을 위해 인텔 기술을 이용한다는 전략이다.
닛케이 아시아에 따르면 새로운 연구 개발 시설의 완공까지는 3-5년 가량이 걸릴 예정이며, 여기에는 극자외선 리소그래피(EUV) 장비가 도입된다.
이 시설은 장비 제조업체와 소재업체가 프로토타입 제작과 테스트에 일정 비용을 지불하고 사용할 수 있다.
이는 반도체 업계가 EUV 장비를 공동으로 사용할 수 있는 일본 최초의 시설이다.
수억 달러가 투자되는 연구개발센터는 경제산업성 산하 일본 국립산업과학기술원(AIST)이 운영을 담당할 예정이며, 인텔은 EUV 기술을 이용한 반도체 칩 제조에 대한 전문 지식을 제공한다.
네덜란드 ASML이 공급하는 EUV는 5나노미터 이하 반도체의 제조 필수장비로, 대당 가격이 5천만 원을 웃도는 초고가 장비다.
현재 벨기에의 Imec 등 연구기관은 EUV 장비를 이용해 제품을 개발하고 있다.